¹Ù·Î°¡±â¸Þ´º

ÇмúÀÚ·á

[Luzchem] Thin Film Analyzer
ÀÛ¼ºÀÚ : »çÀÌÆ®°ü¸®ÀÚ ÀÛ¼ºÀÏ : 2018-07-11 09:26:05 Á¶È¸¼ö : 1615


Thin Film Analyzer TFA-11



[TFA-11 °ËÃâ±â head. 
¿þÀÌÆÛ´ç multiple dissolution ÃøÁ¤]
1. °³¿ä
 - Lithography Àåºñ.
 - ¹Ú¸·ÀÇ µ¿Àû ÃøÁ¤ÇÐ(dynamic metrology)¿¡ ´ëÇÑ ÅëÇÕµÈ Á¢±Ù¹ý
 - ¾à 60nm¿¡¼­ 25§­ÀÇ Çʸ§ µÎ²² ÃøÁ¤.
 - ¿þÀÌÆÛ´ç ´Ù¼öÀÇ ½Ã·áÃßÃâ ÁöÁ¡(sampling spot)À» °®´Â dissolution rate.
 - 180¡É±îÁö ¿Âµµ Á¶Àý.
 - ³ëÃâ ¼Ò¼º(bake) Àü ¶Ç´Â ÈÄ µÎ²² º¯È­.
 - ¿ë¸Å ¼Õ½Ç ¹× Å»º¸È£ ¿¬±¸.

2. »ç¾ç/ÁÖ¿ä Ư¡
 - 110/220V, 50/60Hz
 - USB ÀÎÅÍÆäÀ̽º
 - ´ÙÁß-ÆÄÀå °ËÃâ±â.
 - 2048 ´ÙÀÌ¿Àµå ¹è¿­(array) °ËÃâ±â.
 - ÃÖ¼Ò 400 ³»Áö 850nm ¹üÀ§.
 - ÃÖ¼Ò·®ÀÇ Çö»ó¾×(developer) »ç¿ë.
 - ¶Ù¾î³­ ±â°èÀû ¾ÈÁ¤¼º.
 - 180¡É±îÁö ¿Âµµ Á¶Àý.

3. »ó¼¼ÇÑ ¼³¸í
 - ·çÁîÄÍÀÇ TFA-11 ÀåÄ¡´Â °ÇÁ¶ ¹× ½ÀÀ± Çʸ§ µÎ²²ÀÇ interferometric(°£¼·¹æ½Ä)
   ÃøÁ¤ÀÇ ´É·ÂÀ», ´Ù±â´ÉÀÇ ºñ¿ë È¿°úÀû dissolution rate ¸ð´ÏÅÍ¿Í °áÇÕ½ÃŲ´Ù.
   2048 ´ÙÀÌ¿Àµå °ËÃâ±â¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ´ÙÁß-ÆÄÀå ¼³°è·Î½á ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼­ ÃÖ»óÀÇ ºÐ±¤
   ºÐÇØ´ÉÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.
   TFA-11À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ½ÃÇèÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã·áÀÇ À¯ÇüÁß¿¡´Â resist, ¹Ý»ç¹æÁö ÄÚÆÃ,
   UV º¸È£ Çʸ§(¿¹: âÀ¯¸® ¹× ÀÚµ¿Â÷ À¯¸®), ¹× ´Ù¾çÇÑ Ç¥¸éÀÇ µµ·á ÄÚÆÃ
   (¿¹: ź»ê¼ö ±øÅë)ÀÌ ÀÖ´Ù. LuzchemÀº ±¸¸Å °è¾àÀü¿¡ °í°´ÀÇ ÄÚÆÃÀ» ½ÃÇèÇØÁÙ ¼ö ÀÖ´Ù.

 - dissolution µ¿¿ªÇÐÀ» ÃøÁ¤Çϱâ À§ÇÏ¿© ¼ö ¸®ÅÍÀÇ Çö»ó¾×À» »ç¿ëÇÏ°í ¿Âµµ ¾ÈÁ¤È­¸¦ ±â´Ù·Á¾ß ÇÑ´Ù¸é, ·çÁîÄÍÀÇ TFA-11 ½Ã½ºÅÛÀ»
   °í·ÁÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÈçÈ÷ ´Ù·®ÀÇ Çö»ó¾×ÀÌ ÇÊ¿äÇÏÁö¸¸, ·çÁîÄÍÀÇ µ¶Æ¯ÇÑ ¼³°è(ƯÇã °è·ùÁß)¿¡ ÀÇÇØ ´ÜÁö ¾à 1mlÀÇ Çö»ó¾×ÀÌ ¿ä±¸µÈ´Ù.
   ´ÜÀÏ ¿þÀÌÆÛ¿¡¼­ ´Ù¼ö ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇѵ¥, ÀüÇüÀûÀ¸·Î 3ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ¿¡¼­ 4ȸ, 8ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ¿¡¼­ 30ȸ ³Ñ°Ô °¡´ÉÇÏ´Ù.
   400 ³»Áö 850nm »çÀÌÀÇ ÀÓÀÇÀÇ ÆÄÀåÀ» ¼±ÅÃÇϰųª, ·çÁîÄÍ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ÆÐÅ°Áö¿¡¼­ ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´ÙÁßÆÄÀå ºÐ¼®À» ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
   °í°´ÀÌ °íÀ¯ÀÇ ºÐ¼® ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ °³¹ßÇϱâ·Î °áÁ¤ÇÏ´Â °æ¿ì, LuzchemÀº ¸ðµç µ¥ÀÌÅÍÀÇ ASCII ÆÄÀÏÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.

 - 60nm¿¡¼­ ¼ö½Ê ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀÇ µÎ²² ÃøÁ¤¸¸À̶ó¸é, TFA-10Àº ÃÖ»óÀÇ ºñ¿ë È¿°úÀûÀÎ ÇعýÀÌ´Ù.

[±×¸²: Sample Dissolution Data]

 - TFA-11Àº ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ, Åõ¸í ±âÆÇ ¶Ç´Â ¿ÏÀü ¹Ý»ç ±âÆǻ󿡼­ ¿ëÀÌÇÏ°Ô ÀÛµ¿µÉ ¼ö ÀÖ°í, È­°­¾Ï base ´Â ¶Ù¾î³­ ±â°èÀû ¹× ¿­Àû
   ¾ÈÁ¤¼ºÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. USB ÀÎÅÍÆäÀ̽º¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¿ëÀÌÇÏ°Ô È¿À²Àû µ¥ÀÌÅÍ ¼öÁýÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¾à 70nm¿¡¼­ 25¥ìm À̻󿡼­ TFA-11Àº
   ºñ¿ë È¿°úÀûÀÎ ´Ù±â´É¼º(versatility)À» Á¦°øÇÏ´Â ÇÑÆí, Çö»ó¾× »ç¿ëÀ» ÃÖ¼ÒÈ­ÇÑ´Ù. ´ÜÁö µÎ²² ÃøÁ¤¸¸ÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °æ¿ì, LuzchemÀÇ
   TFA-10¸¦ ¼±ÅÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. 

 - ¿Âµµ Á¦¾î: 180¡É±îÁöÀÇ ¿ÏÀüÇÑ ¿Âµµ Á¦¾î ¼ö´ÜÀ» ±¸ºñÇÑ TFA-11CT´Â ³ëÃâ ¼Ò¼º ÀüÈÄ, ±³Â÷°áÇÕ, Å»º¸È£ ¹× ¿ë¸Å ¼Õ½Ç¿¡ ´ëÇÑ
   ¿¬±¸¿¡ ÃÖÀûÀÌ´Ù.

 - Model :
TFA-10 ¹Ú¸· ºÐ¼®±â·Î¼­ Çʸ§ µÎ²²¸¸À» ÃøÁ¤ÇÔ.
TFA-10U TFA-10À» dual capability unit TFA-11·Î ¾÷±×·¹À̵åÇÔ.
TFA-11 ¹Ú¸· ºÐ¼®±â·Î¼­ Çʸ§ µÎ²²¿Í dissolution rate¸¦ µÑ ´Ù ÃøÁ¤ÇÔ.
TFA-11CT ¿Âµµ Á¶Àý ¹Ú¸· ºÐ¼®±â. 180¡É±îÁö.
TFA-LMP 5°³ÀÇ TFA ·¥ÇÁ(10W, 12V)¿Í ÇÑ ½ÖÀÇ Ãë±Þ Àå°© ¼¼Æ®.
LZC-1 »ó¸é Á¶»ç¸¸À» À§ÇÏ¿© ±¸¼ºµÈ 8°³ ·¥ÇÁ ±¤¹ÝÀÀ±â. ÁßÇÕü ¹× ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¿ëµµ¿¡ ÃÖÀû. ±ÇÀå ¼±Åûç¾ç: µðÁöÅРŸÀ̸Ó.
LZC-BK 8ÀÎÄ¡±îÁöÀÇ ¿þÀÌÆÛ ¹× ¿Âµµ 180¡É±îÁö ¿þÀÌÆÛ ¼Ò¼º ¹× µð½ºÅ© °¡¿­±â. ¿Âµµ Á¶Àý unit Æ÷ÇÔ.

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TEL : 02-575-7476 FAX 02-575-7472

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¼­¿ï½Ã ¼­Ãʱ¸ ¾çÀçõ·Î21±æ 22, 1&2Ãþ (¾çÀ絿, ±¤¸íºôµù)
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Á¦Ç°¿¡ ´ëÇØ ¹®ÀǸ¦ ³²°ÜÁÖ½Ã¸é ºü¸£°Ô ´äº¯µå¸®°Ú½À´Ï´Ù.
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(ÁÖ)½Å¿µÄÚÆÛ·¹ÀÌ¼Ç ´ëÇ¥ÀÚ : ÃÖÀ¯Á¤ ÁÖ¼Ò : ¼­¿ï½Ã ¼­Ãʱ¸ ¾çÀçõ·Î21±æ 22, 1&2Ãþ (¾çÀ絿, ±¤¸íºôµù) TEL 02-575-7476 FAX 02-575-7472
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